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    文章推荐SiC晶须和SU8复合增强

    中文摘要:

    MEMS惯性开关是通过检测外界的加速度来控制电路通断的器件，在测试控制、消费电子、生物医疗等领域都有较为广泛的应用。之前对惯性开关研究多偏向于性能角度，例如增强接触时间或可以感应多个方向加速度，而忽略了惯性开关中材料的创新性。SU-8负性光刻胶和SiC晶须因其在微机电系统加工技术中的良好表现而引起


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